离子源中空阴极 e-Mission Hollow Cathodes
上海伯东美国 KRI 考夫曼离子源提供中空阴极 e-Mission Hollow Cathodes 结构紧凑, 重量轻, 可以安装在离子源或真空系统的侧面, 相对于灯丝的模式有更长的使用寿命, 这在运行忌讳突然中断的复杂工艺时, 是非常有意义的. 而且离子源中空阴极 Hollow cathode 辐射的热量更低, 可以使衬底获得更低的温度,对于对温度敏感的衬底材料而言, 使用中空阴极更有优势.
离子源中空阴极 Hollow
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tal |
Vertical / Horizontal |
Vertical / Horizontal |
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Regulation |
Emission |
Emission |
Emission |
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Operational gas |
None |
Inert |
Inert |
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Process gases |
Inert & reactive |
Inert & reactive |
Inert & reactive |
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Power Controller |
FC100x |
e- Mission Power Pack |
e- Mission Power Pack |
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Model |
MHC1000 |
LHC1000 |
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Cathode |
Yes |
Yes |
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Neutralizer |
Yes |
Yes |
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Orientation |
Vertical / Horizontal |
Vertical / Horizontal |
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Regulation |
Emission |
Emission |
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Operational gas |
Inert |
Inert |
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Process gases |
Inert & reactive |
Inert & reactive |
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Power Controller |
e- Mission Power Pack |
e- Mission Power Pack |
1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发制造加工考夫曼离子源, 霍尔离子源和射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项专利. 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理.
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