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考夫曼离子源中空阴极 Hollow Cathodes

  • 发布日期:2024-01-19 22:03
  • 有效期至:长期有效
  • 货源招商区域:全国
  • 浏览次数11
详细说明
考夫曼离子源中空阴极 Hollow Cathodes

离子源中空阴极 e-Mission Hollow Cathodes
上海伯东美国 KRI 考夫曼离子源提供中空阴极 e-Mission Hollow Cathodes 结构紧凑, 重量轻, 可以安装在离子源或真空系统的侧面, 相对于灯丝的模式有更长的使用寿命, 这在运行忌讳突然中断的复杂工艺时, 是非常有意义的. 而且离子源中空阴极 Hollow cathode 辐射的热量更低, 可以使衬底获得更低的温度,对于对温度敏感的衬底材料而言, 使用中空阴极更有优势.

离子源中空阴极 Hollow


tal

Vertical / Horizontal

Vertical / Horizontal

Regulation

Emission

Emission

Emission

Operational gas

None

Inert

Inert

Process gases

Inert & reactive

Inert & reactive

Inert & reactive

Power Controller

FC100x

e- Mission Power Pack

e- Mission Power Pack

Model

MHC1000

LHC1000

Cathode

Yes

Yes

Neutralizer

Yes

Yes

Orientation

Vertical / Horizontal

Vertical / Horizontal

Regulation

Emission

Emission

Operational gas

Inert

Inert

Process gases

Inert & reactive

Inert & reactive

Power Controller

e- Mission Power Pack

e- Mission Power Pack

 

1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发制造加工考夫曼离子源霍尔离子源射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项专利. 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理.

若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 罗小姐                                   台湾伯东: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 108              T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1322                            F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 ( 微信同号 )      M: +886-939-653-958
qq: 2821409400 
www.hakuto-china.cn                        www.hakuto-vacuum.com.tw


现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶小姐 1391-883-7267
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