开尔文探针扫描

开尔文探针扫描系统-半导体表征  

我们的开尔文探针系统包括：  

□单点开尔文探针(大气环境及气氛控制环境)；  

□扫描开尔文探针(大气环境及气氛控制环境)；  

□超真空(UHV)开尔文探针；  

□湿度控制的腐蚀开尔文探针；  

开尔文探针扫描系统-半导体表征配置  

这是一款可以被大多数客户所接收的扫描开尔文探针系统，它是在ASKP基础之上包括了彩色相机/TFT显示器、2毫米和50微米探针、外部数字示波镜等配置，其规格如下：  

□2毫米，50微米探针；  

□功函数分辨率1-3meV(2毫米针尖)，5-10meV(50微米针尖)；  

□针尖到样品表面高度可以达到400纳米以内；  

□表面势和样品形貌3维地图；  

□探针扫描或样品扫描选配；  

□彩色相机、调焦镜头、TFT显示器和专业的光学固定装置；  

□参考样品(带相应的扫描开尔文探针系统的形貌)；  

□备用的针尖放大器；  

□24个月超长质保期；  

仪器的特色  

□商用的*意义上的开尔文探针系统；  

□高分辨率的功函数和表面势，的稳定性和数据重现性；  

□非零技术(Off-null,ON)——ON信号探测系统在高信号水平下工作，与基于零信号原理(null-based,LIA)的系统相比，不会收到噪声的影响拥有高灵敏度；  

□高度调节技术——我们的仪器在测量和扫描时可以控制针尖的高度。因为功函数受样品形貌的影响，针尖与样品表面距离的调节意味着数据的高重现性且不会漂移；  

□该领域内，拥有的信噪比；  

□快速响应时间——测量速度在0.1-10秒间，远快于其他公司产品；  

□功能强的驱动器——选用Voice-coil(VC)驱动器，与通常的压电驱动器相比，VC驱动器频率要稳定得多、控制的针尖振幅大得多、支持平行多探针操作、支持不同直径探针操作；开尔文探针扫描  

http://www.airtest.net.cn/Products-152484.html  

https://www.chem17.com/st17159/product_152484.html